顧所長同意對重光公開所員工檔案，并召開體員工大會，這讓胡一亭感到滿意，于是接下來大家繼續討論晶圓廠的設備和4所的技術儲備。顧所長身邊已經漸漸聚集了一批所里的工程師們，足有十五、六人之多，都好奇地打量著胡一亭和康耀祥，認真地聽他們什么。

    康耀祥毫不怯場，站在無塵車間的走廊里，隔著墻玻璃指著廠房里的光刻機道：“作為試驗線，15微米還是保守了。

    現在成都光機所已經拿出了8微米分步重復投影光刻機，今年1月份以工藝流片成功率8%以上的好成績通過了國家驗收，目前正在北都微電子中心進行設備的安裝調試。

    按照計劃，他們打算今年年底之前，大概11月1月的樣子，就可以開始進行國產設備的‘8微米CMOS套工藝’的工藝考核，預計半年之內可以見分曉。

    到時候咱們國家就算是正式擁有了屬于自己的8微米制程套生產設備和制造工藝了！我看這次考核一定能通過！原因很簡單，目前8微米制程工藝已經在微電子所實現了高良品率的實驗通過，而且這段時間經過98華晶工程的檢驗，完可以滿足高良品率的生產制造任務！

    華晶廠目前以8微米制程工藝生產我們重光的CMP1J1芯片，良品率已經超過了7%，并且還把一微米制程的游影霸王芯片成功移植到了8微米制程上，達到了6%以上的良品率。

    所以樂觀地，我國目前基上是已經掌握了了8微米制程工藝和設備制造的自主技術，唯獨欠缺的是8微米制程下的IC設計能力，這方面國內也只有我們重光一家有著深厚的功底和成功經驗，畢竟目前可供使用的試驗線實在太少了，屈指可數的那幾家IC設計單位，也都沒有很強的工藝儲備，研發經驗比起國外公司差的太多。

    我們重光要保持領先優勢，就必須繼續在新工藝上持續研發，不能滿足于8微米制程的設計，還要為將來的35微米制程工藝儲備技術和試驗參數。

    所以胡總和我商量之后，決定把你們4所這條線進行技術改進，打算向中科院光電技術研究所也就是成都光機所下訂單，與北都微電子中心同步安裝他們的8-1微米分步重復投影光刻機。”

    顧所長聞言贊道：“我知道你們重光公司是國內唯一一家有8微米集成電路設計技術的企業，你們能把所里的這個晶圓廠提升到什么程度，我們也很好奇啊，你們打算怎么搞，能嘛？呵呵呵，要是方便的話。”

    4所的工程師們也都點頭，很想知道重光打算怎么改造這條線路。

    胡一亭見在場的都是工程師，于是便坦誠相告道：“我們打算從長春光機所訂一套高參數標準的物鏡，縮倍率大約是八倍到十倍，用來替換成都光機所這款光刻機上的五倍物鏡。

    當然這個花費很大，不過目前我已經有了新物鏡的初步設計方案，等我把設計思路大體搞出來以后，就派人去和長光所談，不管多少錢，總要不惜代價的把東西做出來。

    當然，換了物鏡之后，良品率肯定是不能保證了，但既然是試驗線路，也不在乎這個問題。

    另外提升制程的辦法還有很多，比如控制光刻膠的厚度，或者用流明度更高的進口膠代替國產膠，再比如設計更精準的步進電機以改善套刻精度，或者干脆縮像場尺寸，等等等等，手段五花八門，反正這里大家都是內行，應該對這些都不陌生吧。”

    有工程師道：“胡總你年紀輕輕，但一聽你話，我就知道你是內行，真不簡單啊！你真的才17歲嗎？”

    “哈哈哈……”

    此言一出，車間走廊里立刻響起了一片善意的笑聲。

    胡一亭笑道：“我是天才嘛，這一點江水書記都承認，你們還信不過我嗎？我解的龐加萊猜想你們看過嗎？覺得怎么樣？”

    有工程師道：“胡總工你好，我叫奚龍山，我看過你的龐加萊猜想，不過看了一半就看不懂了，很慚愧啊，但我相信你是天才，真的！你很了不起！”

    胡一亭問：“奚工你留不留下？”

    奚龍山道：“我來是想去廬州的，畢竟是省會大城市嘛，但看了你的《龐加萊猜想暨幾何化猜想的完證明》之后，我還是挺心動的，覺得你們重光是有很強的核心技術的，畢竟你們設計的幾款芯片和程控機名氣現在都很大，所以我主動申請留下來了。”

    胡一亭和康耀祥幾乎同時道：“歡迎你加入重光！”

    奚龍山仿佛要考考胡一亭和康耀祥，問道：“胡總工，康總工，我們這套光刻機也是成光所的，自從把線寬從3微米調整到了15微米之后，透鏡的發熱問題就很嚴重了，你們將來要把五倍物鏡換成8到1倍，那你們打算怎么解決曝光能量的發熱問題，發熱后引起鏡頭變形和偏焦，長時間這么干，那可要把設備毀了的。”

    聽到奚龍山發難，立刻有同事也參與進來：“胡工康工你們好，我叫王選玉，也是4所的高級工程師，我想請問你們有什么辦法解決光刻膠引起的顯影缺陷嗎？目前國內工藝里的光刻膠清洗中，殘膠問題很突出，導致下一工序中的重復投影出現圖形失效的問題很突出，你們的實驗線有沒有打算對這一問題進行改進？”

    顧峽生一看這陣仗嚇了一跳，心這不是為難人家嘛，這個胡一亭數學水平再高，也對付不了你們這群術業有專攻的高工啊！高級工程師可是副教授級別，研究員級高級工程師是正教授級別。好家伙，這一群人里倒有一半是正教授，剩下一半副教授，你們一人問一個問題，這胡總就是有三頭六臂也答不上來吧！他雖然是世界級數學天才，有精通IC設計，但怎么也不可能對工藝制程了解的像你們這么深啊！

    “大家都別為難胡總和康總了，這些技術問題是所有晶圓廠的通病，你們這樣問，讓康總和胡總怎么回答嘛！”

    康耀祥也訕訕地笑著，心這還真不好回答，畢竟每個廠都有自己的工藝，解決問題的辦法各不相同，真要籠統的回答，未免要被大家瞧不起，但若不結合具體問題來談，那這個問題就沒了邊際，道明天早上也不完啊。

    正當康耀祥猶豫著怎么才合適的時候，胡一亭卻很認真地開了口。

    “這有什么難的，光刻機鏡頭是個大型組合鏡頭，光是鏡片就有十幾二十片，套筒一個接一個，想要完避免幾何畸變是不可能的，這個問題無論哪家光刻機廠商都有。

    作為照明源的高壓汞燈能量很高，曝光時的快門速度只有零點幾秒，自然是會導致鏡頭組件出現瞬間加熱又瞬間冷卻的幾何畸變，但這些都是工程上的問題，我們做制程的不要去過多的考慮，不要去抱怨機子不如外國人的問題，要是機子和外國人一樣好了，還要我們干什么！

    我們要知道，制程工藝里是允許幾何畸變的，甚至要利用幾何畸變，首先我們要摸清畸變的像場特征，從而在鏡頭對焦時尋找畸變誤差最的對位點，這既要求我們一次次的實驗，尋找每個鏡頭的畸變像場特征，也要改進我們的硅片定位系統，改進激光干涉儀的精度，確保畸變可控。

    我就只這么一個思路吧，再多的我就不了，都是技術機密。

    至于光刻膠殘留造成的顯影缺陷，那就更容易解決了，我再一遍我們是搞制程的，不是搞化學的，光刻膠今后再怎么進化，用聚乙烯醇肉桂酸脂也好，環氧橡膠雙疊氮也好，酚醛樹脂重氮萘脂也好，那都是化工企業的問題，他們廠家怎么改進配方，那都不是我們要關心的問題。

    為了徹底脫膠，我的思路是上雙層膠，降低膠膜對光源的反射，也就是目前國際上剛提出來的用抗反射劑來解決膠體殘留影響曝光的思路，其中一層膠體在曝光下分解酸性氣體，可以徹底清除殘膠，解決殘膠影響曝光的問題，從而解決顯影缺陷。

    好吧，我就這么多看，至于具體的雙膠工藝如何做，那都是技術機密，我不能。

    總之突破這兩個工藝之后，制程技術直上5納米不成問題！今后我們重光的制程技術攻關就在這兩點上！！！”

    要知道，胡一亭在跳槽華創擔綱天思93芯片研發總設計師之前，他在浦海微電子裝備集團就是專門負責集成電路生產設備的制造與生產工藝流程結合，負責為光刻機等先進制程設備與具體IC生產工藝融合而設計最佳方案的！若論對于晶圓廠制程工藝的了解，他算是1996年地球上排名第一的學術權威。

    他剛才這番話完是按照世界制程工藝未來的技術路線在闡述，可謂是高屋建瓴般的技術見解，好比天水順著屋脊瓦當流下來那么勢不可擋！

    這年頭國內的制程工藝比起西方來還差得遠，西方對華的技術封鎖造成了國內在這方面有大量技術空白。

    對于在場的工程師們來，胡一亭的話就像飛流直下三千尺的瀑布一樣具有沖擊力，聽在耳朵里簡直就像是晴天霹靂，大家覺得胡一亭的路子實在是邪門！實在是野！但似乎又充滿了讓人渾身起雞皮疙瘩的靈感！就好像在大家的眼前打開了一閃光芒四射的大門！門后是堆積如山的奇珍異寶正在爍爍發光！

    胡一亭低著頭完之后，抬起頭來，見所有人都在激動而不安地注視著他。

    以為大家不相信自己的胡一亭開始惱火，揚聲大吼道：

    “怎么啦？我錯啦？誰不服站出來你的解決方案！

    你們啊！圖樣圖森破！

    我胡一亭是不可能錯的！

    只要你們跟著我干！35微米那就是菜一碟！

    5納米……指日可待！！！”8)

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