龍女貴主還宮，洞庭凝碧；柳生不在，誰會此意
辟邪云路萬里，百邪不侵；西域來此，建旗羽林
狐仙月出皎兮，勞心悄兮；有意變化，君莫笑兮
夜叉老魚跳浪，瘦蛟婆娑；巡行不已，盡職盡責
馬面來歷不明，土長土生；傍著牛哥，冥界逞雄
牛頭曾于法華領大車，剪尾跑蹄皈我佛：南無阿彌陀
二郎都江堰下，千古英風。二郎在此，波瀾不驚
判官君貌猙獰，君心公正；青林黑塞，唯君所命
七郎百箭攢心，心尤未死；毅魄歸來，兩狼泣下
刑天干戚之舞，猛志常在。以腹代首，天刑何有于我哉
“妖”，有兩層基本含義，一是指反常怪異的事物和現象，這是妖的最初含義。《說文解字》釋之為：“地反物也，從示，和神同類。”《左傳·宣公十五年》記載：“天反時為災，地反物為妖，民反德為亂，亂則妖災生。”反物，指群物失去本來的常性。《左傳·莊公十四年》：“人棄常則妖興，故有妖。”這里的妖不一定有一個精靈的實體，如“服妖”不是指衣服成了精，而是在對人們的衣服裝飾有著嚴格規定的古代，人們穿了奇裝異服，亂了禮制，含有貶義。
二是指各種自然物變成的精怪，此意義上的妖一般都有一個原形物作為實體，如狐妖、蛇妖等。
“怪”，《說文解字》釋為“異也”，指自然界奇異怪誕的事或物。莊子說“人妖物孽曰怪”。妖和怪的初義相近，所以人們常將二者合稱“妖怪”，指怪異、反常的事物與現象。古代人們往往把妖怪的出現看成是可怕的災禍將要發生的前兆，以為是上天對人們的警示。《孔叢子·執節》曰：“若中山之谷，妖怪之事，非所謂天祥也。”《漢書·循吏傳·龔遂》曰：“久之，宮中數有妖怪，王以問遂，遂以為有大憂，宮室將空。”
“精”，古人認為天地間萬物皆秉精氣而生。《周易·系辭上》：“精氣為物，游魂為變。”唐代孔穎達疏：“云精氣為物者，謂陰陽精靈之氣，氤氳積聚而為萬物也。”古人認為年深日久的動植物及器物能夠獲得天地陰陽之氣而成為具有超自然力量的精靈，人們稱之為精。漢代王充在《論衡·訂鬼篇第六十五》中說：“夫物之老者，其精為人；亦有未老，性能變化，象人之形。”晉代神仙家葛洪的《抱樸子》言：“萬物之老者，其精悉能假托人形。”人以外的事物獲得靈魂、神力而能興妖作怪，就是精怪。它也總是被看作反常的、不同于正神的、常給人們帶來災禍的精靈。它有一個固定的自然物或器物為原形，是一個由物幻化而成的精靈。
精有時又稱之為“物”或“魅”。司馬遷曰：“學者多言無鬼神，然言有物。”這里的物指的就是由動物、植物或器物變成的物怪或怪物。《說文解字》九上鬼部：“魅，老物精也。”
精也是指反常怪異的事物，也總是給人們帶來災禍，與妖、怪的意義相近，所以人們也常合稱精怪、妖精。晉干寶《搜神記》卷十八記有：“明日視之，乃老狐也。自是亭舍更無妖怪。”這里的妖怪就是狐變成的精靈。干寶又在《搜神記》卷六說：“妖怪者，蓋精氣之依物者也。”就是說妖怪是各種天地精氣幻化而成的事物。
“魔”，梵文“魔羅”的略稱，古譯經論多作“磨”，至南朝梁武帝時，以其為能惱人者，遂改作“魔”。佛教把一切擾亂身心、破壞行善者和一切妨礙修行的心理活動均稱作“魔”。《大智度論》卷五：“問曰：‘何以名魔?’答曰：‘奪慧命、壞道**德善本，是故名為魔。”，在印度古代神話和宗教中，世界有多層天宇，第六天宇的統治者是魔王波旬。他和他手下的魔將臣民常到下界搗亂、干壞事，所以被視作邪惡的代表，稱為惡魔。唯一的區別就是中國的妖不一定害人。
由于印度的“魔”與中國本土的“妖怪”都是邪惡的，是作為人類的異己力量出現的，所以在宗教文化與中國世俗文化長期碰撞的過程中，外來的“魔”逐漸與中國文化中的“妖怪”合流，如小說中常用的“妖魔”、“潑魔”、“魔頭”等指的就是妖怪。并且神魔小說中幾乎所有的“魔”都是“怪”，是“妖”，是“精”。如《西游記》中美猴王七弟兄中的牛魔王、蛟魔王、鵬魔王，其實就是牛精、蛟精、鵬精，或稱牛怪、蛟怪、鵬怪。沒有魔比妖厲害的說法，相反魔王只比普通的妖厲害一點，反而沒有大妖怪厲害。
隨著社會的發展，妖怪的概念也發生了微妙的變化。以“妖”的概念為核心，形成了妖怪、妖精、妖魔、精怪等語詞，都是指妖或者是妖的別名。在民間的習俗信仰中，這些詞語的所指基本上是相同的，特別是在中國民間，妖怪、妖精、妖魔、精怪基本上可以互相解釋，并且在志怪小說、神魔小說中亦常常混用或互換。《西游記》中就常在同一回中，時而用“妖怪”，時而用“妖精’’，時而用“妖魔”，來稱呼同一事物。
綜上所述，中國古代的妖怪概念有廣義和狹義之分。兩漢之前，妖怪的概念多是廣義的，指代一切怪異反常的事物和現象。狹義的妖怪概念，經兩漢至南北朝、隋唐時期漸趨成熟，指的則是日久成精，獲得了超自然能力的動物、植物和無生物等。隨著佛教的傳播和興盛，佛教中“魔”的概念進入中國文化之中，其特點、性質與中國本土的妖怪形象相似，佛教的魔被同化成妖的一種。即指動物、植物和無生物經年深日久，獲得天地陰陽之氣，能夠幻化成人形，活動在人間，具有超人的本領和變幻莫測的能力的精怪。他們既有所化物的思維、情感、性格等特征，同時又有原形物的某些特征；行為上，它們一方面擾人、害人，但有時候也能與人和平共處，甚至在一些古代敘事文學中，他們還能夠幫助人。
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