一個小時之后,鹿島智樹、曹飛他們參觀返回辦公大樓。一行人在聽了余子賢有關(guān)光刻膠有可能斷貨情況的簡要介紹之后,紛紛皺眉。
鹿島智樹也給大家簡要介紹了一下有關(guān)光刻膠的情況。
光刻膠是由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成份組成的、對光敏感的混合液體。
利用光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影、刻蝕等工藝將所需要的微細圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工基片上的圖形轉(zhuǎn)移介質(zhì),其中曝光是通過紫外光、電子束、準分子激光束、X射線、離子束等曝光源的照射或輻射,從而使光刻膠的溶解度發(fā)生變化。
按照應(yīng)用領(lǐng)域分類,光刻膠主要包括印制電路板(PCB)光刻膠專用化學(xué)品(光引發(fā)劑和樹脂)、液晶顯示器(LCD)光刻膠光引發(fā)劑、半導(dǎo)體光刻膠光引發(fā)劑和其他用途光刻膠四大類。
光刻膠自1959年被發(fā)明以來一直是半導(dǎo)體核心材料,隨后被改進運用到PCB板的制造,并于這幾年開始運用到平板顯示的加工制造。最終應(yīng)用領(lǐng)域包括消費電子、家用電器、汽車通訊等。
光刻工藝約占整個芯片制造成本的35%,耗時占整個芯片工藝的40%~60%,是半導(dǎo)體制造中最核心的工藝。
以半導(dǎo)體光刻膠為例,在光刻工藝中,光刻膠被均勻涂布在襯底上,經(jīng)過曝光(改變光刻膠溶解度)、顯影(利用顯影液溶解改性后光刻膠的可溶部分)與刻蝕等工藝,將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到襯底上,形成與掩膜版完全對應(yīng)的幾何圖形。
光刻技術(shù)隨著芯片集成度的提升而不斷發(fā)展。為了滿足集成電路對密度和集成度水平的更高要求,半導(dǎo)體用光刻膠通過不斷縮短曝光波長以提高極限分辨率。
世界芯片工藝水平此時已跨入微納米級別納,光刻膠的波長由紫外寬譜逐步至g線(436nm)、i線(365nm)。目前,半導(dǎo)體市場上主要使用的光刻膠包括 g 線、i 線兩類光刻膠,而光刻膠核心技術(shù)基本被曰本和美國企業(yè)所壟斷。
光刻膠不僅具有純度要求高、工藝復(fù)雜等特征,還需要相應(yīng)光刻機與之配對調(diào)試。一般情況下,一個芯片在制造過程中需要進行10~50道光刻過程,由于基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等,不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣,即使類似的光刻過程,不同的廠商也會有不同的要求。
針對不同應(yīng)用需求,光刻膠的品種非常多,這些差異主要通過調(diào)整光刻膠的配方來實現(xiàn)。因此,通過調(diào)整光刻膠的配方,滿足差異化的應(yīng)用需求,是光刻膠制造商最核心的技術(shù)。
聽著鹿島智樹的介紹,余子賢也想到了此時國內(nèi)半導(dǎo)體材料的發(fā)展情況。
國內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠起步很晚,就算是有一些廠家和院所生產(chǎn)的光刻膠,技術(shù)水平非常落后,只能應(yīng)用于一些研究院所的小批量使用。
就算是在20年后,半導(dǎo)體材料生產(chǎn)產(chǎn)能主要集中在PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等中低端產(chǎn)品,TFT-LCD、半導(dǎo)體光刻膠等高技術(shù)壁壘產(chǎn)品產(chǎn)能極少,仍需大量進口,從而導(dǎo)致國內(nèi)光刻膠需求量遠大于本土產(chǎn)量。
更何談1991年的此時。
“剛才,我已經(jīng)讓佟若愚聯(lián)系金智江和郝萌他,盡快搞清楚到底是什么原因?qū)е麓舜螖嘭浛赡埽 贝藭r必須要搞清楚原因,才能對癥下藥。
不過此時的余子賢依舊想不通,目前香積電才僅僅是調(diào)試階段,就受到芯片制造材料的斷供,這實在有點讓人搞不明白!
此時,香積電所有的設(shè)備已經(jīng)安裝到位,就算是設(shè)備的調(diào)試也進入了尾聲,馬上就可以一開始生產(chǎn)線最后的聯(lián)試,以及最后的試運行了。
因為廠家技術(shù)人員參與多比較高,所以調(diào)試工作的進展比較快!甚至都不用等到10月1日了。
而之前魔芯科技派去美國亞利桑那州聯(lián)系WDC公司人員,已經(jīng)成功申請到了W65C02及W65C816微控制器的生產(chǎn)授權(quán),WDC公司很樂意授權(quán)魔芯科技公司生產(chǎn)。
授權(quán)費用因為簽署的是連續(xù)授權(quán)模式,也就是一直到6502芯片專利到期之前的十余年之內(nèi),每年魔芯科技都要給給WDC公司支付授權(quán)費用。不過,因此每年的授權(quán)費用也大幅度下降,比余子賢預(yù)計的要低了許多,每年80萬美元。不過WDC唯一的要求就是不允許再對第三方授權(quán),只能用于魔芯科技參股或者控股公司所屬的電子產(chǎn)品。
而對于余子賢想要的6502芯片8位和16位芯片繼續(xù)改進設(shè)計的授權(quán),因為魔芯科技資金的關(guān)系,暫時沒有簽署正式協(xié)議,只是簡單的簽署了一個意向協(xié)議。根據(jù)WDC公司初步透露的信息,這個授權(quán)費用不會太低,起步都在每年300萬美元。
有了授權(quán)協(xié)議,WDC公司直接提供了W65C02及W65C816芯片的全套設(shè)計版圖圖紙。
因為W65C02及W65C816這些芯片都是成熟的芯片設(shè)計,所以芯片設(shè)計的版圖驗證、流片等環(huán)節(jié)都不用進行?梢灾苯訉⑿酒鎴D幾何數(shù)據(jù)標準(GDSII)格式的文件送到制板廠做掩膜板,掩膜板制作完成后便可上流水線生產(chǎn),最后得到布滿裸晶的裸片。
晶圓測試在芯片切割及封裝之前對裸片進行測試,以測試裸片是否合格。這些裸晶通過晶圓測試(CP test,也稱為芯片功能測試)之后,對損壞裸晶進行標記,方便后續(xù)的良率分析和提升。
只要最后生產(chǎn)芯片良率達到預(yù)定目標,這一次的生產(chǎn)線改造就算是成功了。
這與后續(xù)的良率急需提升,就需要在持續(xù)進行設(shè)備微調(diào),工藝工序的不斷改善中完成。
按照原計劃,第一步就是實現(xiàn)目前小博士學(xué)習(xí)機和大霸王游戲機的芯片生產(chǎn)替代!
目前小博士學(xué)習(xí)機和大霸王游戲機銷售火爆,華日電子每月所需要的8位版W65C02處理器芯片數(shù)量共計20萬塊左右。
而香積電生產(chǎn)線改造完成之后,因為生產(chǎn)線初始良率偏低的緣故,前兩個月每月芯片產(chǎn)量大概在24萬塊波動(8000片晶圓*100塊*30%良率),后續(xù)芯產(chǎn)量會隨著良率的提高而提高。
按照計劃,香積電生產(chǎn)線良率要在三個月內(nèi)提升至60%以上,半年內(nèi)提升至80%以上,一年內(nèi)滿產(chǎn)而且90%以上。
當良率提升至80%以后,良率的每一點提高都需要投入大量的資金,所以在90%以后,為了資金性價比,一般都不會在專門花大代價去刻意提高了。
而且現(xiàn)在的情況,香積電8位版W65C02處理器半年的產(chǎn)量就夠華日電子使用1年有余了。等到后半年,此刻正在全力秘密研發(fā)的大霸王版的SFC就會降臨,到時候就需要16位版本的W65C816處理器芯片了。屆時,香積電1.2微米生產(chǎn)線的才算是真正派上用場。
畢竟,用1.2微米的工藝制程的生產(chǎn)線去生產(chǎn)3微米的芯片,確實有點性能浪費。
生產(chǎn)線改造完成之后的前期8位版W65C02生產(chǎn),中途芯片類型的生產(chǎn)不會有變動,一方面為了收集芯片生產(chǎn)數(shù)據(jù),便于數(shù)據(jù)對比分析,進一步提高良率。只有到良率提高一定程度之后,將設(shè)備調(diào)到基本完美的狀態(tài),才會進一步試產(chǎn)與之匹配的1.2微米工藝制程。
計劃就是計劃,總是被突如其來的意外所改變……
就像現(xiàn)在,如果真的因為光刻膠的原因,導(dǎo)致生產(chǎn)線停工,那余子賢真的該哭無淚……盡管此時的余子賢,對于丸紅株式會社發(fā)出的光刻膠可能中斷供應(yīng)的通知感到無語,但是自己該做的事情和積極的應(yīng)對還是非常需要的!
畢竟這個時候的香積電可不是一年前的四方電子管廠,對于國外或者直接說是曰本半導(dǎo)體發(fā)生的事情兩眼一抹黑。
這個時候的香積電,可是有自己來自曰本的大量高級管理人員和技術(shù)人員,他們在曰本還是有著大量的人脈的。
鹿島智樹以及他邀請來的幫助建設(shè)的技術(shù)團隊就不說了。
當然還有此時暫時為隊友的ASML,他們也著急光刻膠被中斷。目前正在調(diào)試使用的小量光刻膠就是ASML提供的。這一次中斷的是后續(xù)生產(chǎn)中需要的大量光刻膠。
當然,這一次余子賢最看重的還要說被蔡俊杰邀請來的導(dǎo)師麻生俊一。如果她能偶在必要的時候說兩句話,應(yīng)該還是很有作用的。
麻生俊一可是東京都大學(xué)半導(dǎo)體實驗室副主任,也算是有著相當影響的前輩。這一次被蔡俊杰說動,來指導(dǎo)工作,可是非常不容易的。
當然該花的錢還是要到為的,比如說,像他們這種級別,上門幫廠家解決一個小問題,都在5萬美元以上;如果是大問題,需要提供成套解決辦法,那對不起,就得簽署項目合同了,合同價沒個10萬、20萬的,好意思出手?
這一次,雖然因為蔡俊杰的關(guān)系,導(dǎo)師直接沒有提出場費的問題,但是余子賢知道,這個錢可不能省,不僅不能省,還得多給,沒看見麻生俊一后面還跟著兩個一男一女的蔡俊杰師弟師妹了……
這都是余子賢眼饞的對象啊……當然只是饞才華、饞技能!余子賢可不敢纏繩子!
尤其是在余子賢鼓動蔡俊杰說服麻生俊一設(shè)置類似于國內(nèi)這個時候“企業(yè)博士后科研工作站”的形式,和麻生俊一本人聯(lián)合組建香積電二級聯(lián)合實驗室的檔口……
計劃設(shè)立的二級聯(lián)合實驗室由負責(zé)香積電實驗室的蔡俊杰和麻生俊一聯(lián)合管理,每年計劃提供的費用不低于50萬美元,實驗項目主要有香積電下發(fā)的技術(shù)攻關(guān)為主。至于聯(lián)合實驗室得最終得到的試驗技術(shù)與相應(yīng)專利,權(quán)益按照香積電實驗室和麻生俊一7:3例進行分配。
如果第一年產(chǎn)生了比較好的實驗成果或者技術(shù)價值,香積電會在前一年的基礎(chǔ)上對下一年經(jīng)費進行調(diào)整,幅度不會少于50%。
對于幾乎白得的一筆實驗經(jīng)費,麻生俊一可是非常樂于接受的。也多了一個博士生試驗實習(xí)的地方……
對于這樣的合作,蔡俊杰也是非常樂于見到。畢竟,曰本當前在半導(dǎo)體領(lǐng)域的科技水平可是非常高的。就像前一陣子,一些實驗蔡俊杰不得不要借助導(dǎo)師的實驗室來完成……
不過,余子賢對于蔡俊杰樂于接受甚至積極推動這個實驗室的組建,余子賢還有一點其他發(fā)現(xiàn)……
蔡俊杰在一言一行中,老是在偷看跟在麻生俊一的那名叫福田靜香的女博士,也就是蔡俊杰的師妹……而福田靜香好像沒有結(jié)婚,就是不知道有沒有男朋友……
好啊,余子賢只是纏人家的才華,卻沒想到蔡俊杰是纏人家的人……才華or身子?!
對于此,余子賢喜聞樂見……只要能纏來,余子賢都可以省好多心了。
偷偷的,余子賢給蔡俊杰暗示道:“今年,為了獎勵你的那一套位于市區(qū)的110三室兩廳一廚一衛(wèi)的房子,前兩天公司辦公室可是拿到了鑰匙,正準備通知給你鑰匙了,你要是今年能夠搞定你的師妹……或者說是結(jié)婚,我現(xiàn)在就再給你一個驚喜,公司付錢給你免費裝修……你只要拎包入住就行……”
蔡俊杰沒想到自己的這一點小秘密居然也被余子賢給發(fā)現(xiàn)了……一時有點害羞。
“哎,我說大男人一個,有什么害羞的?蔡叔走的時候,可是專門交代我一定要給你照顧好你!你這都30的人了,是不是該加把勁。
聽見余子賢這樣說,蔡俊杰終于點頭道:“嗯,知道了。”
“那就好,對了,乘他們返回曰本還有幾天,你可得抓緊時間……比如說到香江的那些購物大街逛一逛啊,買一點女孩喜歡的亮晶晶的東西啊……不要害怕花錢,這一次我做主,給你報銷,下午到財務(wù)部領(lǐng)5萬元的活動經(jīng)費!知道不……”
蔡俊杰聽見余子賢替自己這么著想,再一次害羞的低下了頭……
“我靠,你這樣怎么可以?一定要拿出干工作時的霸氣!對于女孩子一定要膽大心細,該出手時就出手,下班之后陪著逛街、吃飯,甚至必要的時候,可以搞一搞運動么……纏她身子啊”
“我靠!”
蔡俊杰再一次成功的低下了頭……
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