“諸位,既然許董有指示,我們就按照許董的思路來實施氟化氪光刻機的組裝調(diào)試步驟。”胡明鎮(zhèn)見許振鳴已經(jīng)有了決策,頓時松了口氣。他隨后就在會議上提出氟化氪激光光路系統(tǒng)總裝、調(diào)試和試生產(chǎn)的方案。
一番討論過后,參加會議的工程師們提出一個方案,把郝寧團隊剛剛制作好的氟化氪激光光路系統(tǒng)和一鳴集團公司自產(chǎn)的第三代光刻機主體底座組裝起來,查看這臺光刻機的性能。
但許振鳴卻不同意,“假如采用這種方法,速度有點慢,肯能會延遲到春節(jié)以后才能完工。”
“許董,你有什么好方案?”胡明鎮(zhèn)詫異的看著許振鳴。
許振鳴笑道:“我們這次采用雙管齊下的方法。國產(chǎn)的激光光路系統(tǒng)配套老米的光刻機主體底座,組裝成一臺氟化氪光刻機。與之同時,老米的激光光路系統(tǒng)正好跟我們國產(chǎn)的光刻機來配套。”
“不可啊許董。”聽到這話,胡明鎮(zhèn)第一個提出反對已經(jīng)。他認為這種方法可能會損壞那臺進口的光刻機,損失比較大。
這時候,參加會議的其他工程師也同意胡明鎮(zhèn)的觀點,認為這種方法不妥當(dāng),搞不好會損失兩千多萬美刀。
倘若發(fā)生這種事,一嗎集團公司就虧大了。
“我不怕虧本,兩千多萬美刀的學(xué)費也能交得起。”但許振鳴卻不以為然,認為搞產(chǎn)品開發(fā)哪有不叫學(xué)費的。
許振鳴堅持要兩臺光刻機同時組裝激光光路系統(tǒng),同時調(diào)試,同時試驗生產(chǎn)。只有采用這種方法才能節(jié)省時間。
“97年是個特殊的年份,有許多大事件要發(fā)生。比如說香江回歸等,我們的光刻機越早研發(fā)出來,對提升國家形象有幫助。”許振鳴語氣嚴肅的說出自己的想法。
春節(jié)以后,他還有一系列的大投資計劃要執(zhí)行,需要國產(chǎn)第三代光刻機及早開發(fā)出來,及早面市。
“哎……好吧許董,我們就按照你的方案來執(zhí)行。”既然許振鳴要堅持冒險,兩臺光刻機同步開始調(diào)試,胡明鎮(zhèn)也沒辦法,只好按照這種方案來布置任務(wù)。
他把今天起來參加會議室的工程師分成兩組。萬寧古和章釹金一組,專門負責(zé)恢復(fù)進口的氟化氪光刻機。他自己跟何昌林一組,專門負責(zé)國產(chǎn)光刻機的組裝和調(diào)試。
而郝寧教授的團隊成員們也沒閑著,分成兩組負責(zé)支援胡明鎮(zhèn)和萬寧古兩個團隊。
“好,就這么辦。我們今天就開始行動。”聽完胡明鎮(zhèn)的計劃安排,許振鳴微笑的站起身來。他準備立即跟萬寧古一起前去觀看國產(chǎn)激光光路系統(tǒng),和老米光刻機的匹配試驗。
時間不久,許振鳴跟隨者萬寧古、郝寧教授和一些工程師,來到4號鋼構(gòu)廠房里。這棟廠房是4號0.018微米芯片生產(chǎn)線的生產(chǎn)車間,此時已經(jīng)完全停產(chǎn),等待著國產(chǎn)光刻機的總裝和調(diào)試。
車間里的無塵光刻室,此時有一臺拆開的第三代光刻機。這臺設(shè)備就是被胡明鎮(zhèn)等人拆開,用來仿制激光光路系統(tǒng)的進口光刻機。
為了保證這臺進口的第三代光刻機的精度,光刻機的主體底座系統(tǒng),此時已經(jīng)安裝就位。該調(diào)整的設(shè)備基礎(chǔ)、防震動、防電磁干擾等措施,都已經(jīng)布置到位,而且做得很不錯。
車間里,章釹金帶領(lǐng)著一般生產(chǎn)管理團隊成員,正在檢查這臺已經(jīng)解體的第三代光刻機。
“老李,待會兒安裝國產(chǎn)激光光路系統(tǒng)的時候,你一定要小心,多派人手來幫忙安裝設(shè)備就位。”這時,章釹金一邊查看光刻機機的安裝孔位,一邊吩咐著許振鳴的師傅李全。
李全是芯片生產(chǎn)線和半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)線的維保負責(zé)人,手下有一幫高級鉗工、高級技師等團隊成員。
而且他這人做事比較嚴謹,此時正蹲在地上查看著光刻機的安裝孔位。“嗯,我知道了章總,你放一百二十個心,我們不會亂來的。”李全一邊干活,一邊安慰有點緊張的章釹金。
章如釹金此時有點緊張,生怕把許振鳴安排的任務(wù)給搞砸了。倘若出現(xiàn)這種事情,這臺從米國英特爾公司要來的光刻機就報廢了。
所以,章釹金一邊說話,一邊目不轉(zhuǎn)睛的盯著李全手中的動作。
此時此次,李全等人正在測試光刻機安裝孔位的變形量等數(shù)據(jù)。他們手中的動作在章釹金看來非常野蠻和粗糙,隨時就可能把這臺進口的光刻機給搞壞。
“怎么樣,安裝孔位和設(shè)備空間的距離有變化么?”這時,許振鳴剛剛走了進來,蹲下身子看向激光發(fā)生器的安裝作業(yè)面。
聽到這句話,李全轉(zhuǎn)過臉來一抬眉,“老外設(shè)備的穩(wěn)定性就是好,安裝孔位的非常穩(wěn)定,跟一開始的數(shù)據(jù)沒什么兩樣。”
“那就好!呵呵呵呵……”章釹金笑得很開心。他就怕這臺安裝好的光刻機主體系統(tǒng),會有什么問題,到那時就不美了。
“報告許董,這臺老外的光刻機主體,性能非常穩(wěn)定跟一開始檢測的情況一模一樣。”
“許董,我們現(xiàn)在就開始安裝激光光路系統(tǒng)么?”
“少廢話,咱們現(xiàn)在就干活。”
李全手下的安裝技師們已經(jīng)測試好激光光路系統(tǒng)的安裝面,把測試的結(jié)果跟許振鳴簡單匯報了一遍。
從他們匯報的情況來看,這臺用來做樣品的第三代光刻機主體系統(tǒng),性能很不錯沒受到工作環(huán)境的影響,隨時可以用來做試驗。
聽完這番介紹,許振鳴大手一揮,“那還等什么,咱們現(xiàn)在就開始做試驗。”
等到這個命令,眾人立即忙碌起來。
有人負責(zé)開叉車倒運國產(chǎn)氟化氪激光光路系統(tǒng)的備件包裝箱;有人負責(zé)拆除包裝;還有人正在把氟化氪激光光路系統(tǒng)的配件組裝成整體,準備往光刻機主體底座的安裝孔位上就位。
看到這一幕,許振鳴并沒有插嘴亂說什么。他對光刻機這種設(shè)備很陌生,不能指手畫腳的亂指揮。
“老章怎么樣?咱們自己生產(chǎn)的激光光路系統(tǒng),能和老米的光刻機配套嗎?”觀看了一會兒,許振鳴站起身來問站在一旁的章釹金。
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