“許董，按照目前的情況來看，我們集團公司生產的激光光路系統應該能跟老外的光刻機配套。”胡明鎮只有九層把握，并沒有把情況說死。他還是有點擔心這套激光光路系統不能提供精準的激光光源。

    光刻機的原理和照相機的原理基本一樣，都是用曝光來成像。但第三代光刻機的精度非常高，最低可達到0.018微米。倘若再使用FinFET制程技術和浸潤式光刻制程技術，精度要達到0.01微米以下。

    由此可以想到，第三代光刻機對激光光源的功率、穩定性的要求肯定非常高，一般的國家不能生產這種尖端設備。這也是胡明鎮所擔心的事情。

    胡明鎮一邊說話，一邊指揮著李全等人怎么組裝激光發生器、光學儀器、光學鏡頭等精密設備。這套裝配流程非常重要，能直接影響到激光光路系統的精度和可靠性，胡明鎮不得不小心行事。

    “裝配工作什么時間能完成？”

    看到李全等人的進度不是很快，許振鳴認為站在這里沒啥意思，準備再去隔壁車間巡視一下。臨走之前，他向胡明鎮要了一份這臺光刻機裝配和調試的工程進度表。

    “許董，如果一切順利，我們會在元月28日左右開始試生產，并且用這臺光刻機來流片。”胡明鎮比較忙，跟許振鳴說了幾句，又開始投入工作。

    許振鳴見此，拿著一摞用A4紙打印的資料，一邊翻看著一邊朝隔壁的車間走去。

    “三天內完成設備組裝和安裝，五天內調試好這臺設備，第九天以后開始做試生產的準備…嗯，這個計劃還算可以。”

    許振鳴一邊走路一邊頷首點頭，認為胡明鎮的工作做得不錯，準備很充分。

    不多久，他來到4號鋼構廠房的另外一個光刻室。

    這間光刻室是用來安裝國產光刻機的生產車間。

    車間里此時也非常忙碌，萬寧古、何昌林和郝寧等人也正在裝配第三代光刻機。

    他們這邊的進度好像要快了許多，激光光路系統的部件已經組裝完成，光刻機的主體系統也已經組裝好。萬古寧等人正在召開現場討論會，好像要準備進行光刻機的總裝工序。

    看到這種情況，許振鳴倒是不理解，“老萬，你們這邊的進度為啥要快一些？”

    “許董，這臺光刻機的主要部件我們都已經準備好，就等著總裝和調試。”萬寧古告訴許振鳴這臺光刻機的激光光路系統是進口貨，其實根本不要檢驗其性能。最關鍵的事情就看光刻機總裝以后的效果。

    “光刻機的精度主要是受主體系統、底座、橫移、減震等子系統的影響。萬一這臺設備的主體機械系統精度不夠，我們的項目還是沒成功。”

    說到最后，萬寧古的眉毛全都皺了起來。他對這臺光刻機主體系統的精度很擔心，心里沒有十足的把握。

    聽到這話，許振鳴的心情也好不起來。“你們需要多長時間來準備？”念及此，許振鳴想要知道萬寧古等人的總裝和調試計劃。

    “三天左右吧。”何昌林掃了一眼現場的情況，緩緩說道。

    “三天恐怕不行，最少要五天時間。”

    “最多五天時間，許董。五天以后，我們就能做流片試驗了。”

    萬寧古和郝寧等人的意見還不統一，一個說要三天多，一個說要五天時間。

    看到這種情況，許振鳴微微點了點頭，“好，五天以后我再看你們的成果。”說完這些，他也沒心思在這里等待著，拿著一摞報表資料就離開了4號鋼構大廠房。

    五天后的上午九點左右，許振鳴再一次的來到這間光刻室，想要了解萬寧古等人的項目進度情況。

    這時候，車間里已經整理干凈，一臺組裝好的光刻機矗立在車間的正中央。

    這臺光刻機就是萬寧古等人的勞動成果，主體系統全是一鳴集團公司自己制造的，激光光路系統是從此米國佬光刻上拆下來的樣品。

    “準備開機，先啟動冷卻循環水交換器系統。””萬寧古此時拿著對講機，給手下的團隊成員們下達命令。

    看到許振鳴走來，他嘴角含笑的告訴許振鳴，“許董，這臺國產光刻機我們已經完成初步調試，到目前為止還沒有發現問題。”

    萬寧古告訴許振鳴，一天以前他們就已經完成光刻機的總裝，第一次初步調試發現有問題，國產激光光源系統的散熱有缺陷會影響第第三代光刻機的性能。

    “所以，我們臨時增加一個循環水的冷卻系統來給這臺光刻機降降溫。”萬寧古笑了笑。

    許振鳴不了解這些技術細節問題，只是對這臺光刻機的成功時間節點感興趣。“你們現在準備干嗎？馬上要調試了么，嗎”他側臉朝萬寧古等人看了一眼。

    “許董，我們現在就是在測試這臺光刻機。”

    “還有一個小時，我們就能做流片模擬實驗了。”

    何昌林等人給出許振鳴明確的答復。由此看來，他們已經對這臺國第三代光刻機進行過初步調試和試生產，否則沒有這么大的底氣。

    聽到這話，許振鳴的心情倒是好了許多。他靜靜的的站在那里，目光落在萬寧古等人的身上。

    “報告萬總，循環水冷卻系統已經啟動完畢。”

    “萬總，空氣凈化抽煙系統已經啟動好，我們隨時能開始做光刻模擬實驗。”

    “萬總，咱們現在就開始么？”

    不多久，萬寧國手下的工程師已經完成工作，紛紛走來把自己負責檢查的結果匯報一遍。事實上，不用他們匯報情況，萬寧古其實也已經知道這臺設備的數據結果。

    此時此刻，這臺光刻機的主工作站，顯示器上正顯示著各項數據。這些數據就是光刻機各個部件的實時數據。比如說，光刻車間里的溫度、濕度、車間里的灰塵顆粒物的大小等。

    但萬寧古卻沒有按照光刻機工作站的屏幕，顯示的數據來作為判斷。他還是安排人員，去一項數據一賢數據的排查，核對實時數據。

    經過一番比對，萬寧古再次看了看手中的數據表格文件，發現一切數據都正常。他隨后朝下的團隊成員猛然一揮手，“開始！咱們立即開始做光刻模擬實驗。”

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