“老章你來的正好，下面的工作就要移交給你嘍。”胡明鎮看了看光刻機的工作臺，準備把朱雀·酷睿I芯片的流片制程工序移交出去。相對而言，主管生產的章釹京在這方面是專家，他來主持后續的制程工藝流程最合適。

    “沒問題！不就是還剩7只硅晶圓片么，我二十分鐘搞定光刻流程。”章釹京擠眉弄眼的來到胡明鎮的身旁。

    他掃了一眼工作臺，又瞥了一下光刻機的工作站顯示屏。“哎喲，這臺光刻機的功效很不錯嘛，平均光刻時間是95.4秒，比老米的光刻機要快了7.5秒鐘。”他隨后咂砸舌頭，半開玩笑的拿胡明鎮開心。

    事實上，章釹京也是團隊成員，對這臺國產KrF光刻機的速度并不滿意。他們在設計這臺光刻機的時候，曾經準備計劃75秒鐘完成一只硅晶圓片的光刻曝光流程。現在的功效暴跌，還需要做一些制程工藝的調整才行。

    可劉教授、董教授和單教授等人都是精通理論知識的外行人，見章釹京這么說話，于是都紛紛點頭附和著。

    “章教授說得對，我們這臺光刻機的速度只要超過老米的產品就是勝利！”

    “從光刻曝光的速度上來說，我們這臺光刻機的技術已經站在世界的巔峰。”

    “老胡快來拍照，不要搞得像小女兒家似的。你是核心人物，應該坐在中間。”

    董教授一把拽著胡明鎮，直接就朝過合影的位置那邊拖過去。

    他們這些人不了解胡明鎮和章釹京等人追求，對目前的結果其實已經非常滿意。

    從內心來說，他們這幫院士們已經認可這臺國產第三代光刻機的性能。只要等朱雀·酷睿1芯片流片成功，質量檢測報告一出來，劉教授等人就會在論證報告上簽字確認了。

    而胡明鎮此時卻還在搜腸刮肚的思考著，尋找這臺光刻機速度減慢的原因。“老章，你認為是什么地方出了問題？”在前去拍照留念的路上，他微皺著眉頭問章釹京。

    “什么地方都有問題。比如說合金材料的成分、機械加工精度、機械裝配精度、激光光路系統的配合精度…等等等等。方方面面的因素綜合到一起，也就導致我們這臺光刻機無法提速，否則就會出現成品率不達標的結果。”

    章釹京收起玩世不恭的模樣，也微皺眉頭在跟胡明鎮做技術分析。

    哎……看來我們還是要重新設計一臺光刻機才行嘍！

    “只能這么辦！就是不知道許董會不會支持我們的工作。”章釹京拍了拍胡明鎮的后背，微微一嘆。

    就在這時，負責操作光刻機工作站的技術員高聲匯報第三片硅晶圓片的驗片數據結果，“報告胡總、章總，第三片硅晶圓片的光刻成品率超過98.23%，出現一顆廢品芯片。”

    “額？激光光源有點不穩定？”

    “肯定是光源問題！”

    聽到這話，已經拍好隊伍的胡明鎮和章釹京，幾乎同時說出一致的原因判斷。

    而這些數據對于劉教授等人來說，已經是非常高的合格數據。在他們看來，即便是從米國或者島國進口的光刻機，也不能做到這么高的成品率。

    更何況，劉教授等人所能接觸到的光刻機，都是國外淘汰的二手光刻機，而且都是一代、二代接觸式光刻機。

    見識不夠，眼界不同，看到的結果就相差非常大。

    “老胡、老章，剛才匯報的數據很不錯，你們兩面對鏡頭笑一個！”劉教授側過臉，招呼胡明鎮和章釹京。

    胡明鎮瞥了瞥嘴唇，朝章釹京苦笑一下，“先拍照吧。等一下你再做實驗，把問題的原因找出來。”

    “只能這么辦嘍！”章釹京會意的點頭。

    隨著一陣咔嚓咔嚓的聲響，胡明鎮和章釹京兩人的苦笑被定格在這次合影留念的照片上。

    剛剛完成合影留念儀式，章釹京就朝手下的技術員大吼一聲，“小李，你立即啟動緊急風冷裝置，給激光光路系統降降溫。”

    聽到這話，郝寧教授一皺眉，“老章，你的意思是激光發生器的溫度過高，激光粒子出現不穩定的情況？”

    章釹京沒說話，微微點頭，皺著眉頭朝光刻機的工作站走去。

    胡明鎮的表情跟他一樣，此時也很嚴肅。

    他們這幫人表現的如此嚴肅，這讓劉教授等人感到很詫異，“現在的數據非常好啊，老胡他們為甚不開心？”

    揣著這種狐疑，劉教授、單教授和董教授等一幫院士級的專家們都收斂笑容，跟在胡明鎮等人的身后一起去觀看電腦顯示屏上的數據。

    此時此刻，這臺光刻機已經完成了第五片硅晶圓片的光刻工序，激光頭正在挪動，朝另外一個工作臺橫移而去。

    “老師你看，激光粒子的強度上來了。”這時，正在操作工作站的技術員指著電腦屏幕驚喜的匯報數據。

    激光粒子的強度會直接影響光刻工序的成品率，忽高忽低的情況一般都不允許出現。

    “老郝，還是你激光發生器出了問題！”看到這一幕，胡明鎮側過臉來提醒郝寧教授。

    郝寧教授的眉頭不禁一皺，“是這個道理，但我們目前只能做到這種精度了。”

    他告訴胡明鎮，影響激光發生器的因素有很多，僅僅鹵化物的純凈度這方面就會產生N種激光粒子。更別說激光發生器的機械材料、機械加工精度、機械裝配精度等等，都會影響激光粒子的強度。

    “長見識嘍！難怪我們國家在激光發生器領域跟老外的差距那么大。”

    “所以說，我們眼前的這臺光刻機所蘊含的技術要遠超我們的預想。”

    “我認為咱們現在就可以下論斷總結，判定這臺KrF光刻機研發成功。”

    “我同意老單的意見。”

    聽完郝寧教授的解釋，劉教授、單教授、董教授等人反而比較高興，在光刻室里就已經拿出此次論證審核的初步預判。

    在他們看來，胡明鎮的團隊能做到這一步已經非常成功了。

    這臺光刻機的項目所取得的成績，要遠遠大于項目本身的意義。

    然而此時，胡明鎮卻微皺著眉頭跟章釹京商量，“老章，我認為你還要增加兩個批次的流片工程測試。”

    “對，一個是高功率消耗的模式做光刻實驗，一個是平常額定功率模式做光刻實驗。”

    “那實驗經費怎么辦？”胡明鎮有些愁眉不展。

【精彩東方文學 www.nuodawy.com】 提供武動乾坤等作品手打文字版最新章節首發，txt電子書格式免費下載歡迎注冊收藏。